Содержание
- Введение 1
- Теоретические основы дугового разряда с полым катодом 2
- - Физика плазмы и процессы ионизации 2.1
- - Конструкция и принцип работы разрядных устройств с полым катодом 2.2
- - Электродинамические процессы в плазме дугового разряда 2.3
- Параметры и характеристики дугового разряда 3
- - Влияние давления газа на характеристики разряда 3.1
- - Влияние формы и материала катода на характеристики разряда 3.2
- - Влияние геометрии разрядного промежутка 3.3
- Анализ экспериментальных данных (если позволяют условия) 4
- - Методика эксперимента (если есть доступ к оборудованию) 4.1
- - Результаты измерений вольт-амперных характеристик 4.2
- - Анализ спектральных характеристик плазмы (если есть доступ к оборудованию) 4.3
- Области применения дугового разряда с полым катодом 5
- - Использование в плазменной обработке материалов 5.1
- - Применение в ионном легировании 5.2
- - Генерация вторичных электронов 5.3
- Заключение 6
- Список литературы 7