Содержание
- Введение 1
- Теоретические основы СВЧ-разрядов 2
- - Принципы генерации СВЧ-излучения и его взаимодействие с газом 2.1
- - Механизмы ионизации и поддержания разряда 2.2
- - Типы СВЧ-разрядов и их характеристики 2.3
- Методы диагностики и моделирования СВЧ-разрядов 3
- - Оптические методы диагностики 3.1
- - Микроволновые методы диагностики 3.2
- - Численное моделирование СВЧ-разрядов 3.3
- Экспериментальное исследование характеристик СВЧ-разряда в резонаторе 4
- - Описание экспериментальной установки и методики измерений 4.1
- - Результаты измерений и их анализ 4.2
- - Влияние различных параметров на характеристики разряда 4.3
- Анализ практического применения СВЧ-разрядов 5
- - СВЧ-разряды в плазмохимических процессах 5.1
- - СВЧ-разряды в обработке материалов 5.2
- - Медицинское применение СВЧ-разрядов 5.3
- Заключение 6
- Список литературы 7