Содержание
- Введение 1
- Теоретические основы формирования и свойства пленок ITO 2
- - Физико-химические свойства ITO 2.1
- - Оптические и электрические характеристики пленок ITO 2.2
- - Обзор литературных данных по ITO 2.3
- Методы получения тонких пленок ITO 3
- - Магнетронное распыление 3.1
- - Химическое осаждение из паровой фазы 3.2
- - Другие методы получения пленок ITO 3.3
- Применение пленок ITO в различных областях 4
- - Применение в оптоэлектронике 4.1
- - Применение в солнечной энергетике 4.2
- - Применение в сенсорных устройствах 4.3
- Анализ и сравнение существующих технологий получения и применения пленок ITO 5
- - Сравнительный анализ методов получения пленок ITO 5.1
- - Сравнение областей применения пленок ITO 5.2
- - Перспективы развития технологий на основе ITO 5.3
- Заключение 6
- Список литературы 7