Содержание
- Введение 1
- Физико-химические свойства оксида индия-олова 2
- - Кристаллическая структура и морфология пленок ITO 2.1
- - Оптические свойства пленок ITO 2.2
- - Электрические свойства и электропроводность 2.3
- Методы получения тонких пленок ITO 3
- - Метод магнетронного распыления 3.1
- - Метод осаждения из паровой фазы (CVD) 3.2
- - Сопоставление методов получения пленок ITO и выбор оптимального метода 3.3
- Применение тонких пленок ITO 4
- - Использование ITO в сенсорных экранах 4.1
- - Применение ITO в дисплеях на жидких кристаллах (LCD) 4.2
- - Применение ITO в солнечных элементах 4.3
- Заключение 5
- Список литературы 6