Содержание
- Введение 1
- Теоретические основы формирования тлеющего ВЧ разряда 2
- - Физические процессы в плазме: ионизация и рекомбинация 2.1
- - Взаимодействие электромагнитного поля и газа. Частотный диапазон ВЧ разрядов 2.2
- - Характеристики плазмы в ВЧ разрядах: температура, плотность, распределение частиц 2.3
- Методы диагностики плазмы в ВЧ разрядах 3
- - Зондовая диагностика плазмы 3.1
- - Оптическая эмиссионная спектроскопия (ОЭС) 3.2
- - Другие методы диагностики: лазерная диагностика, микроволновые методы 3.3
- Экспериментальное исследование ВЧ разряда при атмосферном давлении 4
- - Описание экспериментальной установки и используемых материалов 4.1
- - Методика проведения эксперимента и измерения параметров 4.2
- - Результаты эксперимента: анализ и обсуждение 4.3
- Анализ влияния параметров разряда на его характеристики 5
- - Влияние частоты ВЧ поля на параметры плазмы 5.1
- - Влияние мощности ВЧ поля и давления газа 5.2
- - Влияние состава газа на свойства разряда 5.3
- Заключение 6
- Список литературы 7