Содержание
- Введение 1
- Физические и Химические Свойства Карбида Кремния 2
- - Кристаллическая структура и полиморфизм SiC 2.1
- - Электрические свойства карбида кремния 2.2
- - Механические и тепловые свойства SiC 2.3
- Методы Производства Карбида Кремния 3
- - Методы прямого синтеза SiC 3.1
- - Методы CVD и другие методы осаждения 3.2
- - Сравнение методов производства и их влияние на свойства SiC 3.3
- Применение Карбида Кремния в Современных Технологиях 4
- - SiC в полупроводниковой электронике 4.1
- - SiC в силовой электронике 4.2
- - Высокотемпературные компоненты и другие применения SiC 4.3
- Анализ и Обсуждение Результатов 5
- - Сравнение различных методов производства и их влияние на свойства SiC 5.1
- - Анализ областей применения и их перспектив 5.2
- - Проблемы и вызовы, связанные с применением SiC 5.3
- Заключение 6
- Список литературы 7