Содержание
- Введение 1
- Теоретические основы методов микрообработки 2
- - Фотолитография: принципы и применение 2.1
- - Травление: типы и методы 2.2
- - Напыление и осаждение материалов 2.3
- Комбинированные методы микрообработки: анализ и классификация 3
- - Технологии совмещенной обработки 3.1
- - Многослойные структуры и их формирование 3.2
- - Применение комбинированных методов в различных областях 3.3
- Исследование и анализ практических примеров 4
- - Производство микрочипов: анализ этапов и технологий 4.1
- - Примеры микросистемных устройств (MEMS) 4.2
- - Комбинированные методы в биомедицине 4.3
- Анализ и сравнение различных технологических подходов 5
- - Сравнение различных технологических процессов 5.1
- - Влияние параметров процесса на качество 5.2
- - Экономическая эффективность технологий 5.3
- Заключение 6
- Список литературы 7