Содержание
- Введение 1
- Теоретические основы термического испарения 2
- - Физико-химические основы процесса 2.1
- - Типы установок для термического испарения 2.2
- - Параметры и контроль процесса 2.3
- Применение термического испарения в различных областях 3
- - Микроэлектроника 3.1
- - Оптика 3.2
- - Машиностроение и другие области 3.3
- Анализ эффективности методов термического испарения 4
- - Сравнительный анализ методов 4.1
- - Влияние параметров на качество покрытий 4.2
- - Экономическая эффективность и технологические аспекты 4.3
- Заключение 5
- Список литературы 6