Содержание
- Введение 1
- Теоретические основы наноматериалов 2
- - Классификация и типы наноматериалов 2.1
- - Физико-химические свойства наноматериалов 2.2
- - Методы синтеза наноматериалов 2.3
- Применение наноматериалов в микроэлектронике 3
- - Наноматериалы в производстве транзисторов 3.1
- - Наноматериалы в сенсорных устройствах 3.2
- - Интеграция наноматериалов в интегральные схемы 3.3
- Анализ и сравнение технологий 4
- - Сравнительный анализ нанотранзисторов 4.1
- - Сравнение сенсорных устройств на основе наноматериалов 4.2
- - Сравнительный анализ методов интеграции наноматериалов 4.3
- Заключение 5
- Список литературы 6