Содержание
- Введение 1
- Теоретические основы вакуумной техники 2
- - Основные понятия и определения вакуумной техники 2.1
- - Принципы работы сорбционных насосов 2.2
- - Математическое моделирование процессов откачки 2.3
- Расчет и проектирование вакуумной системы 3
- - Выбор компонентов вакуумной системы 3.1
- - Расчет скорости откачки и времени откачки 3.2
- - Оптимизация параметров вакуумной системы 3.3
- Анализ и моделирование вакуумной системы 4
- - Численное моделирование процессов откачки 4.1
- - Анализ влияния различных факторов на производительность системы 4.2
- - Обзор существующих вакуумных систем с сорбционными насосами 4.3
- Экспериментальная проверка и сравнение с расчетами 5
- - Описание экспериментальной установки 5.1
- - Результаты экспериментальных исследований 5.2
- - Сравнение результатов и выводы 5.3
- Заключение 6
- Список литературы 7