Содержание
- Введение 1
- Теоретические основы процесса вакуумно-дугового нанесения покрытий 2
- - Физические основы вакуумно-дугового разряда 2.1
- - Технологические параметры ВАКП 2.2
- - Материалы для нанесения покрытий 2.3
- Расчет и проектирование установки ВАКП 3
- - Расчет вакуумной системы 3.1
- - Расчет системы питания дуги 3.2
- - Проектирование камеры и элементов установки 3.3
- Моделирование процесса нанесения покрытий 4
- - Выбор программного обеспечения для моделирования 4.1
- - Построение математической модели 4.2
- - Анализ результатов моделирования и оптимизация 4.3
- Анализ и сравнение существующих установок ВАКП 5
- - Обзор различных типов установок ВАКП 5.1
- - Сравнение характеристик установок 5.2
- - Практические примеры применения ВАКП 5.3
- Заключение 6
- Список литературы 7