Содержание
- Введение 1
- Теоретические основы выращивания кристаллов арсенида галлия 2
- - Физико-химические свойства арсенида галлия 2.1
- - Методы выращивания монокристаллов GaAs 2.2
- - Влияние технологических параметров на качество кристаллов 2.3
- Анализ современных технологий производства подложек из арсенида галлия 3
- - Современные методы контроля качества кристаллов GaAs 3.1
- - Применение GaAs в полупроводниковых приборах 3.2
- - Тенденции развития технологий производства подложек 3.3
- Анализ влияния параметров роста на свойства подложек 4
- - Влияние температуры и скорости роста на дефектность кристаллов 4.1
- - Влияние состава газовой фазы на однородность кристаллов 4.2
- - Методы оптимизации технологических параметров 4.3
- Заключение 5
- Список литературы 6