Содержание
- Введение 1
- Теоретические основы плазменной обработки 2
- - Физико-химические свойства плазмы 2.1
- - Взаимодействие плазмы с поверхностью материала 2.2
- - Механизмы плазменной обработки 2.3
- Методы плазменной обработки и их применение 3
- - Плазменное напыление 3.1
- - Плазменное травление и активация поверхности 3.2
- - Плазменная полировка и модификация поверхности 3.3
- Экспериментальная часть: анализ образцов 4
- - Методика проведения экспериментов 4.1
- - Результаты экспериментальных исследований 4.2
- - Сравнительный анализ и обсуждение 4.3
- Обсуждение результатов и рекомендации 5
- - Анализ факторов, влияющих на качество обработки 5.1
- - Разработка рекомендаций по оптимизации 5.2
- - Перспективы развития технологий 5.3
- Заключение 6
- Список литературы 7