Содержимое раздела
В этом разделе подробно рассматриваются теоретические основы РЭМ, включая генерацию электронного луча, его взаимодействие с образцом и формирование изображения. Будут объяснены разные режимы работы РЭМ, такие как режимы вторичных и отраженных электронов, и их роль в получении различных типов информации. Рассматриваются физические принципы, лежащие в основе получения изображений, и факторы, влияющие на разрешение и качество изображений, полученных методом РЭМ, а также роль детекторов.