Содержание
- Введение 1
- Теоретические основы пористости полупроводников 2
- Методы создания пористых структур 3
- Экспериментальная методика 4
- Результаты моделирования 5
- Результаты экспериментальных исследований 6
- Обсуждение результатов 7
- Перспективы развития 8
- Заключение 9
- Список литературы 10