Содержимое раздела
Обзор основных методов получения германия и кремния, включая процессы очистки и кристаллизации. Будут рассмотрены методы Чохральского, зонной плавки, химического осаждения из газовой фазы и другие технологии. Детально описываются этапы производства, используемое оборудование и параметры процессов. Рассматриваются методы обработки, такие как травление, легирование, напыление тонких пленок и другие для формирования полупроводниковых структур. Обсуждаются вопросы качества, чистоты, безопасности и экологичности производства.