Содержание
- Введение 1
- Химия полупроводниковых материалов 2
- Материалы для межсоединений и диэлектриков 3
- Химические процессы в литографии 4
- Химический анализ в микроэлектронике 5
- Влияние химических факторов на надежность микросхем 6
- Экологические аспекты производства микроэлектроники 7
- Перспективы развития химических технологий в микроэлектронике 8
- Заключение 9
- Список литературы 10