Содержимое раздела
В данном разделе будут рассмотрены физические принципы, лежащие в основе оптоэлектронных методов измерения технологических параметров. Будут подробно изучены взаимосвязь между параметрами оптического излучения и измеряемыми величинами, характеристики оптических датчиков и их влияние на точность измерений. Также будет проведено исследование погрешностей и способов их минимизации. Рассмотрение законов распространения света, взаимодействия света с веществом, и особенностей различных типов оптических датчиков (интерферометры, дифракционные решетки, фотодиоды и др.).