Содержание
- Введение 1
- Теоретические основы химического осаждения из жидкой фазы 2
- Методика проведения эксперимента 3
- Методы физического анализа 4
- Результаты исследования влияния параметров процесса CBD на структуру плёнок 5
- Морфологические характеристики полученных плёнок 6
- Определение элементного состава и оптических свойств плёнок 7
- Оптимизация параметров синтеза поликристаллической плёнки платины 8
- Обсуждение результатов и перспективы дальнейших исследований 9
- Список литературы 10