Содержание
- Введение 1
- Теоретические основы рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии (XPS) 2
- Теоретические основы спектроскопии потерь энергии электронов (REELS) 3
- Методика получения тонких пленок фторида кальция 4
- Режимы травления тонких пленок фторида кальция 5
- Результаты исследований методом XPS 6
- Результаты исследований методом REELS 7
- Обсуждение результатов и сравнение с литературными данными 8
- Оптимизация режимов травления 9
- Список литературы 10