Содержание
- Введение 1
- Теоретические основы полупроводниковых подложек 2
- Влияние подложки на характеристики транзисторов 3
- Моделирование характеристик микросхем с различными подложками 4
- Экспериментальные методы исследования подложек 5
- Анализ результатов моделирования и экспериментальных исследований 6
- Оптимизация выбора подложки для конкретных применений 7
- Перспективы развития и будущие исследования 8
- Обзор современной элементной базы для создания микросхем 9
- Список литературы 10