Содержание
- Введение 1
- Теоретические основы сканирующей зондовой микроскопии 2
- Характеристики поверхности полупроводниковых материалов 3
- Выбор материалов для исследования 4
- Методика проведения исследований 5
- Результаты исследования поверхности кремния 6
- Результаты исследования поверхности арсенида галлия 7
- Сравнение характеристик поверхности различных материалов 8
- Обсуждение результатов и перспективы дальнейших исследований 9
- Список литературы 10