Содержание
- Введение 1
- Теоретические основы эпитаксиального роста 2
- Обзор методов получения эпитаксиальных слоев 3
- Факторы, влияющие на качество эпитаксиальных слоев 4
- Применение эпитаксиальных слоев 5
- Сравнительный анализ методов получения 6
- Перспективы развития технологий эпитаксиального роста 7
- Заключение 8
- Список литературы 9