Содержание
- Введение 1
- Теоретические основы вакуума 2
- Методы создания вакуума 3
- Вакуум в микроэлектронике 4
- Вакуум в космической технике 5
- Вакуумное напыление и покрытия 6
- Практическое применение вакуумных технологий в медицине 7
- Анализ проблем и перспектив развития вакуумных технологий 8
- Заключение 9
- Список литературы 10