Содержание
- Введение 1
- Обзор существующих технологий чистых комнат 2
- Техническое задание на проектирование 3
- Разработка планировочного решения 4
- Выбор систем фильтрации воздуха и вентиляции 5
- Материалы и оборудование для чистой комнаты 6
- Оценка стоимости проекта и экономическое обоснование 7
- Риски проекта и меры по их минимизации 8
- Заключение 9
- Список литературы 10