Содержание
- Введение 1
- Основные этапы производства микрочипов 2
- Современные технологии литографии 3
- Новые материалы для микроэлектроники 4
- Проблемы и перспективы развития микроэлектроники 5
- Экологические аспекты производства микроэлектроники 6
- Заключение 7
- Список литературы 8