Содержание
- Введение 1
- Теоретические основы электронно-лучевого осаждения 2
- Факторы, влияющие на качество осаждения 3
- Проблемы, возникающие при осаждении керамики 4
- Методы контроля качества осажденных пленок 5
- Пути оптимизации процесса осаждения 6
- Перспективы применения электронной лучевой керамики 7
- Заключение 8
- Список литературы 9