Содержание
- Введение 1
- Исторический обзор развития вакуумных технологий 2
- Физические основы создания и поддержания вакуума 3
- Современные вакуумные технологии и оборудование 4
- Применение вакуума в электронике и микроэлектронике 5
- Применение вакуума в других отраслях промышленности и науки 6
- Влияние вакуума на материалы и процессы 7
- Перспективные направления развития вакуумных технологий 8
- Заключение 9
- Список литературы 10