Содержание
- Введение 1
- Особо чистые вещества и критерии чистоты 2
- Кристаллографические методы и чувствительность к примесям 3
- Стекло как источник загрязнения 4
- Кремний и поверхностные оксидные слои 5
- Фторопласты: преимущества и ограничения 6
- Механизмы загрязнения и методы контроля 7
- Практические примеры и выбор аппаратуры 8
- Заключение 9
- Список литературы 10