Содержание
- Введение 1
- Теоретические основы алмазных пленок 2
- - Кристаллическая структура алмаза 2.1
- - Дефекты кристаллической решетки 2.2
- - Термодинамика и кинетика роста алмазных пленок 2.3
- Методы получения алмазных пленок 3
- - Химическое осаждение из газовой фазы (CVD) 3.1
- - Физическое осаждение из паровой фазы (PVD) 3.2
- - Другие методы получения алмазных пленок 3.3
- Свойства алмазных пленок 4
- - Механические свойства 4.1
- - Термические свойства 4.2
- - Оптические и электрические свойства 4.3
- Применение алмазных пленок 5
- - Защитные покрытия в машиностроении 5.1
- - Применение в электронике и теплоотводе 5.2
- - Медицинские и оптические применения 5.3
- Заключение 6
- Список литературы 7