Содержание
- Введение 1
- Структура и свойства алмазоподобных пленок 2
- - sp3 и sp2 гибридизация углерода 2.1
- - Механические свойства DLC 2.2
- - Электрические и оптические свойства 2.3
- Методы получения алмазоподобных покрытий 3
- - PECVD (Плазмохимическое осаждение из газовой фазы) 3.1
- - Магнетронное распыление 3.2
- - Ионное имплантирование и лазерное осаждение 3.3
- Области применения алмазоподобных покрытий 4
- - Защитные покрытия для режущего инструмента 4.1
- - Применение в микроэлектронике 4.2
- - Биомедицинские приложения 4.3
- Заключение 5
- Список литературы 6