Содержание
- Введение 1
- Физические основы акустоэлектроники 2
- - Пьезоэлектрический эффект и его применение 2.1
- - Акустические волны в твердых телах 2.2
- - Взаимодействие акустических волн с электрическим полем 2.3
- Математическое моделирование акустоэлектронных устройств 3
- - Уравнения акустики и электродинамики 3.1
- - Метод конечных элементов в акустоэлектронике 3.2
- - Аналитические методы решения задач 3.3
- Технологии изготовления акустоэлектронных устройств 4
- - Методы получения пьезоэлектрических пленок 4.1
- - Технологии травления и литографии 4.2
- - Сборка и упаковка устройств 4.3
- Анализ и расчет конкретных акустоэлектронных устройств 5
- - Расчет поверхностно-акустических фильтров (ПАВ-фильтров) 5.1
- - Анализ объемных акустоэлектрических резонаторов 5.2
- - Примеры расчета акустоэлектронных датчиков 5.3
- Заключение 6
- Список литературы 7