Содержание
- Введение 1
- Теоретические основы спектроскопии тонких плёнок 2
- - Оптические свойства тонких плёнок 2.1
- - Методы спектрального анализа 2.2
- - Влияние параметров плёнки на спектральные характеристики 2.3
- Конструкция автоматизированного прибора 3
- - Оптическая схема прибора 3.1
- - Система регистрации данных и обработки сигнала 3.2
- - Механическая часть и автоматизация 3.3
- Принципы работы и калибровка прибора 4
- - Подготовка образцов для измерения 4.1
- - Порядок проведения измерений 4.2
- - Методы калибровки прибора 4.3
- Применение прибора: результаты и обсуждение 5
- - Измерение спектров различных типов плёнок 5.1
- - Анализ спектральных данных и определение оптических свойств 5.2
- - Обсуждение результатов и сравнение с существующими методами 5.3
- Заключение 6
- Список литературы 7