Содержание
- Введение 1
- Теоретические основы газового разряда 2
- - Механизмы ионизации и возбуждения 2.1
- - Кинетика газового разряда 2.2
- - Параметры газового разряда 2.3
- Спектральные характеристики тлеющего разряда 3
- - Линейчатый спектр тлеющего разряда 3.1
- - Широкие спектральные линии 3.2
- - Спектральный анализ в тлеющем разряде 3.3
- Практические аспекты и применение тлеющего разряда 4
- - Газоразрядные лампы 4.1
- - Тлеющий разряд в спектроскопии 4.2
- - Применение в плазменном травлении 4.3
- Заключение 5
- Список литературы 6