Содержание
- Введение 1
- Физические основы имплантации и образования дефектов 2
- - Механизмы ионной имплантации и распределение ионов 2.1
- - Типы дефектов, образующихся при имплантации водорода и гелия 2.2
- - Моделирование процессов образования дефектов 2.3
- Влияние дефектов на свойства кремния 3
- - Влияние дефектов на электрические свойства кремния 3.1
- - Оптические свойства кремния с дефектами 3.2
- - Механические свойства кремния с дефектами 3.3
- Формирование глубинных структур с использованием дефектов 4
- - Методы контролируемого создания дефектов 4.1
- - Использование дефектов для создания слоев с измененными свойствами 4.2
- - Примеры применения для создания микро- и наноструктур 4.3
- Заключение 5
- Список литературы 6