Содержание
- Введение 1
- Теоретические основы интегральной оптики 2
- - Принципы волноводного распространения света 2.1
- - Оптические свойства диоксида титана (TiO2) 2.2
- - Типы интегральных оптических устройств 2.3
- Золь-гель технология для получения пленок TiO2 3
- - Химия золь-гель процессов 3.1
- - Факторы, влияющие на качество пленок TiO2 3.2
- - Модификация золь-гель процессов 3.3
- Формирование интегрально-оптических структур TiO2 гель методом 4
- - Литографические методы формирования волноводов 4.1
- - Прямое лазерное травление 4.2
- - Технологии диффузионных и реактивных волноводов 4.3
- Заключение 5
- Список литературы 6