Содержание
- Введение 1
- Теоретические основы газовых сенсоров 2
- - Принципы ионизации газов 2.1
- - Типы газовых сенсоров и их классификация 2.2
- - Физические основы работы автоэмиссионных катодов 2.3
- Конструктивные особенности интегральных сенсоров 3
- - Материалы для автоэмиссионных катодов 3.1
- - Методы изготовления интегральных сенсоров 3.2
- - Компоновка и схемотехника сенсоров 3.3
- Области применения и перспективы развития 4
- - Применение газовых сенсоров 4.1
- - Перспективы развития технологий 4.2
- - Примеры практического применения 4.3
- Практическое применение и результаты 5
- - Анализ конкретных конструкций сенсоров 5.1
- - Экспериментальные результаты и анализ данных 5.2
- - Примеры практического использования 5.3
- Заключение 6
- Список литературы 7