Содержание
- Введение 1
- Физические основы работы ионных насосов 2
- - Механизмы ионизации 2.1
- - Транспорт ионов 2.2
- - Вакуумные характеристики 2.3
- Материалы и методы изготовления ионных насосов MEMS 3
- - Выбор материалов 3.1
- - Микролитография 3.2
- - Технологии травления 3.3
- Конструкции и типы ионных насосов для MEMS 4
- - Микроионные источники на основе полевой эмиссии 4.1
- - Ионные ловушки 4.2
- - Ионные транспортеры 4.3
- Заключение 5
- Список литературы 6