Содержание
- Введение 1
- Теоретические основы ионизации 2
- - Механизм ионизации столкновением 2.1
- - Потенциальная ионизация 2.2
- - Поверхностная ионизация 2.3
- Конструкция и принципы работы ионного источника Кауфмана 3
- - Катод и система его нагрева 3.1
- - Система фокусировки ионного пучка 3.2
- - Магнитная система и ее роль 3.3
- Параметры и характеристики ионного пучка 4
- - Энергия ионного пучка и ее регулирование 4.1
- - Ток ионного пучка и его стабильность 4.2
- - Дивергенция и пространственное распределение 4.3
- Заключение 5
- Список литературы 6