Содержание
- Введение 1
- Физические основы ионного легирования 2
- - Механизмы имплантации и повреждение кристаллической решетки 2.1
- - Диффузия примесей и формирование профиля легирования 2.2
- - Активация примесей и влияние на электрические свойства 2.3
- Методы ионной имплантации 3
- - Имплантация с высоким током и низкой энергией 3.1
- - Канальная имплантация и формирование p-n переходов 3.2
- - Имплантация с использованием ускорителей ионов 3.3
- Применение ионного легирования в производстве полупроводниковых приборов 4
- - Ионное легирование в производстве MOSFET-транзисторов 4.1
- - Ионное легирование в производстве биполярных транзисторов 4.2
- - Ионное легирование в создании интегральных схем 4.3
- Заключение 5
- Список литературы 6