Содержание
- Введение 1
- Теоретические основы вакуумной техники 2
- - Основные понятия и определения 2.1
- - Методы создания вакуума 2.2
- - Измерение вакуума и вакуумные датчики 2.3
- Принципы работы и типы сорбционных насосов 3
- - Механизм сорбции газов 3.1
- - Конструкция и характеристики сорбционных насосов 3.2
- - Материалы для сорбции: свойства и применение 3.3
- Особенности эксплуатации и обслуживания сорбционных насосов 4
- - Выбор сорбционного насоса для конкретных задач 4.1
- - Подготовка и запуск сорбционных насосов 4.2
- - Обслуживание и ремонт сорбционных насосов 4.3
- Практическое применение сорбционных насосов: примеры и анализ 5
- - Сорбционные насосы в научных исследованиях 5.1
- - Применение в производстве полупроводников 5.2
- - Другие области применения сорбционных насосов 5.3
- Заключение 6
- Список литературы 7