Введение в проблематику низкотемпературной плазмы представляет собой обзор основных понятий, таких как плазменный параметр, дебаевский радиус и частота столкновений. Рассматривается история исследования плазмы и ее роль в различных областях науки и техники. Подчеркивается актуальность работы и формулируются основные задачи исследования, направленные на понимание принципов работы плазмы.

Данный раздел посвящен теоретическим основам процессов, происходящих в низкотемпературной плазме. Рассматриваются кинетические уравнения Больцмана для описания распределения частиц по скоростям. Обсуждаются основные процессы, такие как ионизация, рекомбинация и столкновения частиц. Анализируются методы и подходы к моделированию плазменных систем и их свойств, а также роль термодинамики в понимании этих процессов.

В этом подразделе рассматриваются основы кинетической теории плазмы, включая функции распределения частиц и уравнение Больцмана. Обсуждаются процессы релаксации в плазме и установление равновесного состояния. Особое внимание уделяется влиянию различных типов столкновений (упругих и неупругих) на процессы переноса энергии и импульса в плазме. Раскрываются методы расчёта основных параметров плазмы на основе кинетического подхода.

Этот подраздел фокусируется на электрических свойствах плазмы, таких как проводимость и диэлектрическая проницаемость. Рассматривается взаимодействие плазмы с электрическими полями и электромагнитными волнами. Особое внимание уделяется явлению экранирования электрического поля в плазме и влиянию различных параметров (плотности, температуры) на эти свойства. Обсуждаются методы расчета основных электрических характеристик.

В данном подразделе рассматриваются термодинамические аспекты плазменных процессов, включая понятие термодинамического равновесия. Обсуждаются условия его достижения и влияние различных факторов. Анализируются основные термодинамические функции и их применение для описания состояния плазмы. Рассматриваются методы расчёта параметров плазмы, основываясь на термодинамических подходах.

В этом разделе представлены методы измерения основных параметров низкотемпературной плазмы. Рассматриваются зондовая диагностика, спектроскопические методы и методы микроволнового зондирования. Описываются принципы работы каждого метода, их достоинства и недостатки. Анализируются источники погрешностей измерений и методы их минимизации. Обсуждаются различные типы зондов, спектрометров и их применение.

Зондовая диагностика является одним из наиболее распространенных методов измерения параметров плазмы. В этом подразделе рассматриваются различные типы зондов (Ленгмюра, двойные зонды), их конструкции и принципы работы. Обсуждаются методы обработки зондовых характеристик для определения электронной температуры и плотности плазмы. Анализируются факторы, влияющие на точность измерений, и способы их учета.

Спектроскопические методы основаны на анализе излучения, испускаемого плазмой. Рассматриваются методы эмиссионной и абсорбционной спектроскопии, а также их применение для определения температуры и плотности плазмы. Обсуждаются методы обработки спектральных линий, включая учет эффектов уширения линий. Анализируются основные этапы спектрального анализа.

Микроволновое зондирование — это метод измерения параметров плазмы с использованием микроволнового излучения. Обсуждаются принципы работы метода, его преимущества и недостатки. Рассматриваются различные конфигурации микроволновых интерферометров и резонаторов. Анализируются методы обработки данных для определения плотности плазмы и других параметров.

Этот раздел посвящен практическому применению описанных методов измерения для анализа реальных плазменных систем. Обсуждаются конкретные примеры, включая плазменные дисплеи, обработку материалов и космические исследования. Приводятся результаты экспериментальных исследований, полученные с использованием различных методов измерения. Анализируются основные проблемы и ограничения, возникающие при практическом применении методов.

В этом подразделе рассматриваются методы обработки и анализа экспериментальных данных, полученных с использованием описанных методов измерения. Обсуждаются методы калибровки, обработки ошибок и статистического анализа. Анализируются примеры обработки данных, полученных с использованием зондовой диагностики, спектроскопии и микроволнового зондирования, а также методы интерпретации результатов.

Этот подраздел представляет конкретные примеры исследований плазменных систем с использованием различных методов измерения. Рассматриваются примеры применения методов измерения электрических характеристик в плазменных дисплеях, для обработки материалов и в космических исследованиях. Анализируются результаты измерений и их значения для конкретных приложений.

В заключительной части раздела проводится сравнение различных методов измерения с учетом их преимуществ и недостатков. Обсуждаются критерии выбора оптимального метода для конкретной задачи, а также факторы, влияющие на точность и надежность измерений. Рассматриваются перспективы развития методов измерения.

В заключении обобщаются основные результаты работы. Подводятся итоги исследования, формулируются основные выводы и оценивается достижение поставленных целей. Отмечается практическая значимость полученных результатов и их вклад в развитие технологий. Определяются перспективы дальнейших исследований в области измерения электрических характеристик плазмы.

В данном разделе представлен список использованной литературы, включая научные статьи, монографии и учебные пособия. Список составлен в соответствии с требованиями к оформлению ссылок. Ссылки упорядочены в алфавитном порядке авторов.