Содержание
- Введение 1
- Теоретические основы контактной профилометрии 2
- - Принципы работы и конструкция стилусных профилометров 2.1
- - Источники погрешностей при контактной профилометрии 2.2
- - Области применения контактной профилометрии 2.3
- Теоретические основы оптической профилометрии 3
- - Интерферометрическая профилометрия 3.1
- - Конфокальная микроскопия 3.2
- - Профилометрия на основе структурированного освещения 3.3
- Сравнительный анализ контактной и оптической профилометрии 4
- - Точность и разрешение измерений 4.1
- - Преимущества и недостатки каждого метода 4.2
- - Влияние свойств материала на выбор метода 4.3
- Заключение 5
- Список литературы 6