Содержание
- Введение 1
- Физико-химические основы геттеринга расплава 2
- - Термодинамика процесса геттеринга 2.1
- - Механизмы переноса примесей 2.2
- - Выбор геттерных материалов 2.3
- Технологические аспекты получения кремния методом геттеринга 3
- - Типы установок для геттеринга расплава 3.1
- - Режимы проведения процесса 3.2
- - Контроль и регулирование процесса 3.3
- Влияние технологических параметров на чистоту получаемого кремния 4
- - Влияние температуры 4.1
- - Влияние концентрации геттера 4.2
- - Методы контроля чистоты 4.3
- Заключение 5
- Список литературы 6