Содержимое раздела
В данном разделе рассматриваются теоретические основы метода лазерного осаждения (PLD). Будут изучены физические процессы, протекающие при взаимодействии лазерного излучения с веществом мишени. Описывается механизм формирования плазмы, распространение частиц и конденсация на подложке. Рассматриваются параметры PLD, влияющие на характеристики пленок: мощность лазера, энергия импульса, давление газа, расстояние до подложки и температура подложки. Анализируются факторы, влияющие на структуру и свойства получаемых тонких пленок.