Содержание
- Введение 1
- Теоретические основы легирования полупроводников 2
- - Типы легирования: доноры и акцепторы 2.1
- - Закон массовых действий и его применение 2.2
- - Равновесные концентрации носителей заряда 2.3
- Методы легирования полупроводников 3
- - Диффузионное легирование 3.1
- - Ионная имплантация 3.2
- - Эпитаксия 3.3
- Влияние легирования на свойства полупроводников 4
- - Зависимость проводимости от концентрации примесей 4.1
- - Влияние легирования на подвижность носителей заряда 4.2
- - Температурная зависимость проводимости легированных полупроводников 4.3
- Заключение 5
- Список литературы 6