Содержание
- Введение 1
- Классификация и свойства полупроводниковых материалов 2
- - Кремний: основа современной микроэлектроники 2.1
- - Соединения группы III-V: арсенид галлия и нитрид галлия 2.2
- - Карбид кремния: материал для экстремальных условий 2.3
- Диэлектрические материалы в микроэлектронике 3
- - Оксид кремния: классический диэлектрик 3.1
- - Материалы с высокой диэлектрической проницаемостью (High-k) 3.2
- - Полимерные диэлектрики 3.3
- Проводящие материалы для микроэлектроники 4
- - Алюминий: традиционный проводник 4.1
- - Медь: современный проводник 4.2
- - Углеродные нанотрубки и графен 4.3
- Практическое применение и примеры современных микросхем 5
- - Материалы в современных процессорах 5.1
- - Материалы в микросхемах памяти 5.2
- - Материалы в микроэлектромеханических системах (MEMS) 5.3
- Заключение 6
- Список литературы 7