Содержание
- Введение 1
- Теоретические Основы Получения Полупроводниковых Пластин 2
- - Кристаллическая Структура Полупроводников 2.1
- - Процесс Легирования Полупроводников 2.2
- - Дефекты Кристаллической Решетки 2.3
- Метод Чохральского (Czochralski) 3
- - Принцип Работы Метода Чохральского 3.1
- - Особенности Выращивания Кремниевых Слитков 3.2
- - Параметры Процесса и Контроль Качества 3.3
- Зонная Плавки и Эпитаксия 4
- - Зонная Плавки: Принцип и Применение 4.1
- - Эпитаксия: Выращивание Тонких Пленок 4.2
- - Сравнение Методов: Преимущества и Недостатки 4.3
- Практическое Применение и Анализ Качества Полупроводниковых Пластин 5
- - Методы Контроля Качества Полупроводниковых Пластин 5.1
- - Применение в Производстве Транзисторов и Микросхем 5.2
- - Влияние Качества Пластины на Характеристики Приборов 5.3
- Заключение 6
- Список литературы 7