Содержание
- Введение 1
- Теоретические основы получения полупроводниковых пластин 2
- - Основные типы полупроводников и их свойства 2.1
- - Процессы кристаллизации и роста кристаллов 2.2
- - Методы легирования полупроводников 2.3
- Методы выращивания кристаллов из расплава 3
- - Метод Чохральского (Czochralski) 3.1
- - Метод Бриджмена (Bridgman) 3.2
- - Зонная плавка (Zone Melting) 3.3
- Методы эпитаксии 4
- - Молекулярно-лучевая эпитаксия (MBE) 4.1
- - Газофазная эпитаксия (VPE) 4.2
- - Металоорганическая эпитаксия газовой фазы (MOCVD) 4.3
- Практические аспекты и примеры применения 5
- - Полупроводниковые пластины для микроэлектроники 5.1
- - Полупроводниковые пластины для солнечных элементов 5.2
- - Полупроводниковые пластины для оптоэлектроники 5.3
- Заключение 6
- Список литературы 7