Содержание
- Введение 1
- Теоретические основы чистоты материалов 2
- - Классификация примесей и дефектов 2.1
- - Влияние примесей на электронные свойства полупроводников 2.2
- - Методы оценки чистоты материалов 2.3
- Методы зонной плавки и направленной кристаллизации 3
- - Принципы зонной плавки 3.1
- - Направленная кристаллизация 3.2
- - Параметры процесса и их оптимизация 3.3
- Химические методы очистки материалов 4
- - Выщелачивание и растворение 4.1
- - Перегонка и сублимация 4.2
- - Ионный обмен и экстракция 4.3
- Практические примеры и современные технологии 5
- - Очистка кремния для микроэлектроники 5.1
- - Получение чистых материалов для солнечной энергетики 5.2
- - Новые технологии очистки: перспективы и вызовы 5.3
- Заключение 6
- Список литературы 7